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真空應用系統的幾個問題

2019-09-30

1.真空元件,如閥門、進氣管路、真空泵等相互連接時, 應盡量做到抽氣管路短,管道直徑盡量不低于主泵入口直徑,并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統使用的一條重要原則。




2.真空系統的結構材料應盡量采用國家標準中的無縫鋼管和板材,并盡量減少焊縫數目,用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼(A3 鋼)。尤其需要注意的是:接入真空系統的管路應當清理干凈,并且接入的管路壁厚不應當過薄,過薄的管路在粗真空條件下進行抽氣作業時會產生較強的共振。




3.真空系統操作規則:


a. 起動機械泵時,首先要保證轉子運動方向正確,而且油位合乎要求。


b. 油封機械泵停止后,立即將機械泵入口通大氣。因泵內真空會使泵油進入系統中。


c. 盡量不要用機械泵把高真空室直接抽至低于10Pa(0.1Torr)壓強,否則機械泵的油蒸氣會進入高真空室。因為在壓強低于10Pa 時,會出現分子性氣流,油分子將會返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下,則應當設置油分子捕集器。


d. 不應當使機械泵在大氣壓強下或者較高壓強下連續長時間工作,否則電機會過熱,而且泵會噴出油霧。


e. 在擴散泵(或油增壓泵)通大氣之前,應將泵油冷卻到安全溫度,防止高溫下的泵油氧化。


f. 使用電離計時,應當在壓強達到0.1 Pa 以下時再起動電離真空計,以防止電離計燒毀。


g. 高真空系統系統需要停止使用時,盡量將真空室及主泵在真空狀態下封存,以縮短下一次使用時的抽氣時間。

真空系統

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